每立方将低于0.5微米粒度的浮尘总数操纵在3500个下列,就做到了国际性洁净规范的A级。现阶段运用在射频收发器生产制造的洁净规范针对尘土的规定高过A级,那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片加工上。浮尘总数被严控在每立方1000个之内,这也就是业界别名等级中的千级。
千级无尘车间施工的规范,浮尘总数被严控在每立方1000个之内,这也就是业界千级无尘车间的含意。(1000级的定义是:每立方英寸内,高于或等于0.5的尘土颗粒物不可以超出1000颗)。
无尘车间级别规范区划洁净室等级规范ISO14644依据飘浮颗粒浓度值这一指标值来区划净化室(区)及有关可控自然环境中气体洁净度等级的级别,而且仅考虑到粒度限制值(下限)0.1um~0.5um范畴内总计遍布的粒子群。依据颗粒径,能够区划为基本颗粒(0.1um~0.5um)、超微颗粒(<0.1um)和宏颗粒(>5.0um)。